1、擴(kuò)散硅高溫傳感器及其特點:
擴(kuò)散硅高溫壓力傳感器的工作原理是,被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片(不銹鋼或陶瓷),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成比例的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,用電子電路檢測這種變化,以及轉(zhuǎn)換并輸出對應(yīng)于該壓力的標(biāo)準(zhǔn)測量信號。
2、應(yīng)變片高溫傳感器及其特點:
機械傳感器有多種,如電阻應(yīng)變式高溫壓力傳感器、高溫高溫壓力傳感器,半導(dǎo)體高溫壓力變送器高溫壓力傳感器;壓阻式高溫壓力傳感;電感式高溫壓力敏感;電容式高溫壓力感測器,諧振式高溫壓力傳感器和電容式加速度傳感器。但是,壓阻式高溫壓力傳感器應(yīng)用廣泛,它具有極低的價格、高精度和良好的線性特性。
3、藍(lán)寶石高溫傳感器及其特點:
基于應(yīng)變電阻型工作原理,采用硅藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體傳感元件,具有*的計量特性。藍(lán)寶石系統(tǒng)由單晶絕緣體元件組成,不會引起磁滯、疲勞和蠕變;藍(lán)寶石比硅更強、更硬,不怕變形;藍(lán)寶石具有很好的彈性和絕緣特性(1000OC以內(nèi))。因此,由硅藍(lán)寶石制成的半導(dǎo)體傳感元件對溫度變化不敏感,即使在高溫條件下也具有良好的工作特性;此外,硅藍(lán)寶石半導(dǎo)體傳感器沒有防爆壓力變送器的p-n漂移,從根本上簡化了制造工藝,提高了重復(fù)性,保證了高成品率。